patent/US-3491236-A

http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3491236-A

Outgoing Links

Predicate	Object
assignee	http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentassignee/MD5_c72d118f5664072de841f9c5c34b9d99
classificationCPCAdditional	http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/Y10S430-143
classificationCPCInventive	http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/B82Y40-00 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/H01J37-3023 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/H01L21-00 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/H01J37-3007 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/H01J37-3177 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentcpc/B82Y10-00
classificationIPCInventive	http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentipc/H01J37-317 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentipc/H01J37-302 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentipc/H01J37-30 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentipc/H01L21-00
filingDate	1967-09-28-04:00^^<http://www.w3.org/2001/XMLSchema#date>
grantDate	1970-01-20-04:00^^<http://www.w3.org/2001/XMLSchema#date>
inventor	http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patentinventor/MD5_c2f1ee91ddd64f16484d3dfff96e78a9
publicationDate	1970-01-20-04:00^^<http://www.w3.org/2001/XMLSchema#date>
publicationNumber	US-3491236-A
titleOfInvention	Electron beam fabrication of microelectronic circuit patterns
isCitedBy	http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-6943349-B2 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/DE-2811553-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4130761-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/FR-2385222-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3895234-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3914608-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4218621-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3753034-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4465934-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3649807-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-2003168606-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4524278-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3999097-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/DE-2627987-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4117301-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3736425-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3789185-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3875416-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/EP-0087196-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3876883-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3638231-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3614423-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4072356-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3612936-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3619608-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4142132-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3651303-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4151422-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3676693-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4694178-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3674977-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4718019-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4153843-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3689782-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4140913-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4182958-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/DE-19522362-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3693040-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/WO-7900645-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/DE-19522362-C2 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3710176-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/WO-8202623-A1 http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-4210806-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-5014420-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3864597-A http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/patent/US-3576420-A
priorityDate	1967-09-28-04:00^^<http://www.w3.org/2001/XMLSchema#date>
type	http://data.epo.org/linked-data/def/patent/Publication

Incoming Links

Predicate

Subject

http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID292101
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID101886162
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID244666
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID100127870
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/anatomy/ANATOMYID284674
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/taxonomy/TAXID284674
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/substance/SID450408979
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID83932
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/compound/CID14935
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID100036995
http://rdf.ncbi.nlm.nih.gov/pubchem/gene/GID534918

Total number of triples: 77.